一、產品特點及用途
1.產品特點
該設備是一種新型工業級干燥設備，采用長軸耐高溫大功率軸流風機，不銹鋼渦輪扇葉，結合獨特設計風道，智能PID溫控器結合SSR固態繼電器控制高效不銹鋼發熱器加熱，形成溫度均勻的高溫熱風，對箱體內部進行加熱，確保烘箱內部達到理想的溫度環境。
2. 產品用途
產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
二、產品詳細參數
1.箱體結構
1.1.內部材質：采用SUS304 1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE。
1.2.外部材質：外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防銹處理后噴塑，耐刮傷，造型美觀。
1.3.保溫材質：采用100K高級保溫棉，六面保溫斷熱，保溫厚度為80mm-120mm，保溫性能好。
1.4. 箱門結構：箱門于箱體結合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環保無污染。
1.5. 載物層架：可根據物品大小調節層間距，空間利用率高。
2. 溫度控制系統：采用日臺灣威綸通PLC+7寸彩色觸摸屏人機交互界面，定值/程序（程控100段）兩種控制模式，帶傳感器斷線報警功能，帶超溫警報保護功能，確保產品運行安全。
3. 控溫方式
3.1.訊號來源：采日制進口CA感應棒±0.5%。
3.2.輸出被控組件：SSR固態無節點輸出，確保加熱功率精準。
4. 箱內熱風循環系統
4.1. 送風方式：箱內采用單向水平運風，兩側風道內強壓送風。
4.2. 風道結構：風道兩側采用高密度沖孔風板，精準控制導流板角度，確保箱內溫度均勻性。
4.3. 送風裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經水平糾正處理，確保運風平穩 ，噪聲≤65dB。
4.4. 送風裝置安全保護系統：帶超溫過載過流保護功能，確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。
4.5電加熱系統：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發生器，潔凈不產塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）
5.氧含量控制系統
5.1氮氣排氧控制系統采用雙路氮氣導入回路，各向箱內提供100L/min + 200L/min的氮氣，每路配套進口電磁閥，雙流量自動切換，在箱內達到無氧環境
后，自動切換至低流量氮氣，大大節省氮氣消耗量，也可根據工藝制程要求，自行設定，滿足多種工藝需求。
5.2 排氧時間≤30 min，帶耐高溫氧含量控制儀，氧化鋯氧含量傳感器，耐高溫自吸泵一套，可實時檢測氧含量并顯示實際數值，配備氧含量超標報警功能。
6.整機安全保護系統
6.1. 采用三重超溫保護系統，確保箱體在運行過程中的整體安全性能（詳見技術參數）。
6.2. 箱體內部電器保護系統（確保箱體內部電器運行平穩，安全可靠）：
6.2.1.超溫防止器（獨立限溫，超溫斷電）；
6.2.2.相序保護（欠壓欠相保護）；
6.2.3.馬達過電流保護；
6.2.4.控制線路保險絲；
6.2.5.電熱過電流保護；
6.2.6.無熔絲開關。
型號BC-WYX150ABC-WYX360ABC-WYX480ABC-WYX800ABC-WYX1000A溫度范圍RT(常溫）+10~200℃/250℃/300℃ (可訂制最高溫度600℃）溫度分辨率0.1℃溫度波動度±1.0℃溫度均勻性≤±1.5%氧含量20ppm/50ppm/100ppm/2000ppm容積180L360L480L800L1000L內膽尺寸（寬W*深D*高H）mm600×500×600600×600×1000800×600×10001000×800×10001000×800×1200外部尺寸（寬W*深D*高H）mm960×690×1460960×790×17801160×790×17801320×1050×17801320×1050×1980層板數量2塊2塊3塊3塊4塊功率5KW7.5KW9KW12KW15KW電源電壓AC 380V 50HZ（三相五線制）無氧烘箱規格一覽表：
備注： 1. 以上所有機型外觀尺寸僅供參考，實際尺寸以實物為準； 2. 產品內部尺寸可根據客戶要求進行非標定制。
選配組件：
1.程序多段控溫：可配置程序型溫度控制器，最大實現100段程序控溫。
2.測試孔：可在側面加裝Φ50mm測試孔。
3.無紙多點溫度記錄儀：可配置無紙多點溫度記錄儀（4/6/9/12通道），可實時監控記錄溫度變化.
4.快速降溫功能：風冷+水冷。
5.可加裝MES系統。
雙腔無氧烘箱實物照片
